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CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향
CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12264873
- 서명/저자
- CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향 / 이현섭. 박범영, 김구연 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한기계학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 1807-1812
- 기타저자
- 이현섭. 박범영, 김구연
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60047014
MARC
008050729s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12264873
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■773 ▼t대한기계학회논문집A▼g제28권 제11호 (통권 제230호)(2004년 11월)▼d2004, 11
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