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광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀼츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm급 니켈 스탬퍼의 제작
광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀼츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm급 니켈 스탬퍼의 제작
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12264873
- 서명/저자
- 광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀼츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm급 니켈 스탬퍼의 제작 / 서영호, 최두선, 이준형 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한기계학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 1794-1798
- 기타저자
- 서영호, 최두선, 이준형
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60047012
MARC
008050729s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12264873
■245 ▼a광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀼츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm급 니켈 스탬퍼의 제작▼d서영호, 최두선, 이준형 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2004.
■300 ▼app. 1794-1798
■653 ▼a광학▼a그레▼a사출▼a위한▼a전자빔▼a무반▼a코팅▼a크롬▼a마스크▼a이용▼a고종▼a100NM급▼a니켈
■700 ▼a서영호, 최두선, 이준형
■773 ▼t대한기계학회논문집A▼g제28권 제11호 (통권 제230호)(2004년 11월)▼d2004, 11
■SIS ▼aS010868▼b60013871▼h8▼s2
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