자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

기상 증착된 비정질 실리콘 카바이드 박막질의 기판 온도 의존성 / 김주영, 이백우, 남호석 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2004.

형태사항  

pp. 279-284

키워드  

기상 비정질 실리콘 카바이드 박막질 기판 온도 의존성

기타저자  

김주영, 이백우, 남호석

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.42 No.3 (2004년 3월) 2004, 03

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60046472