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Direct Bonding of Silicon Pairs with Heterogeneous Insulator Using Different Annealing Methods
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Direct Bonding of Silicon Pairs with Heterogeneous Insulator Using Different Annealing Methods

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12259438
서명/저자  
Direct Bonding of Silicon Pairs with Heterogeneous Insulator Using Different Annealing Methods / 공저 Ohsung Song, Kiyung Lee, C. S. Yoon, and C. K. Kim
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2004.
형태사항  
pp. 107
키워드  
DIRECT BONDING SILICON PAIRS HETEROGENEOUS INSULATOR USING DIFFERENT ANNEALING METHODS
기타저자  
Ohsung Song, Kiyung Lee, C. S. Yoon, and C. K. Kim
기본자료저록  
Metals and Materials : VOL.10 NO.1 (2004 FEBRUARY) 2004, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60046366

MARC

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