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유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용
유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용 / 이정중 저
유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12251550
서명/저자  
유도결합 플라즈마를 이용한 공정기술 개발과 그 응용 / 이정중 저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2004.
형태사항  
pp. 36
키워드  
유도 결합 이용 공정 기술 개발과
기타저자  
이정중
기본자료저록  
재료마당 : Vol.17 No.1 2004 2004, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60046093

MARC

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