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기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- 기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상 / 임재원, Minoru Isshiki 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 212-217
- 기타저자
- 임재원, Minoru Isshiki
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60045249
MARC
008050721s2004 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼a기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상▼d임재원, Minoru Isshiki 공저
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■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.42 No.2 (2004년 2월)▼d2004, 02
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