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 기사

ISSN  

12297380

서명/저자  

고농도 도핑된 Si 기판상에 Co/Ti 이중막 실리사이드 형성과 특성 연구 / 엄우용 저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2003.

형태사항  

pp. 8-13

키워드  

고농도 도핑 기판상 COTI 이중 실리 사이드 형성

기타저자  

엄우용

기본자료저록  

전자공학회논문지TE(Technology Education) : 전문 기술교육 : 제40권 제4호 (2003 12) 2003, 12

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Control Number  

kjul:60044748