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ISSN  

12297380

서명/저자  

ECR 산소 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 산화막의 특성 / 강문상 저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2003.

형태사항  

pp. 1-7

키워드  

ECR 산소 의해 형성 실리콘 산화

기타저자  

강문상

기본자료저록  

전자공학회논문지TE(Technology Education) : 전문 기술교육 : 제40권 제2호 (2003 6) 2003, 06

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kjul:60044728