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ISSN  

12297380

서명/저자  

ECR 플라즈마 CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 기판 온도와 열처리에 따른 전기적 특성 / 강문상 저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2001.

형태사항  

pp. 21-29

키워드  

ECR CVD로 비정질 실리콘 박막 기판 온도 열처리 전기

기타저자  

강문상

기본자료저록  

전자공학회논문지TE(Technology Education) : 전문 기술교육 : 제38권 제4호 (2001 12) 2001, 12

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Control Number  

kjul:60044621