자료유형  

 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

전해도금법을 이용한 구리 박막의 성장 및 열처리 효과 / 박병남, 강현재, 최시영 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2003.

형태사항  

pp. 1-8

키워드  

전해 이용 구리 박막 성장 열처리 효과

기타저자  

박병남, 강현재, 최시영

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제40권 제10호 (2003 10) 2003, 10

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60044536