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RTO 공정을 이용한 다공질 실리콘막의 저온 산화 및 특성분석
RTO 공정을 이용한 다공질 실리콘막의 저온 산화 및 특성분석 / 박정용, 이종현 공저
RTO 공정을 이용한 다공질 실리콘막의 저온 산화 및 특성분석

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
RTO 공정을 이용한 다공질 실리콘막의 저온 산화 및 특성분석 / 박정용, 이종현 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2003.
형태사항  
pp. 18-22
키워드  
RTO 공정 이용 다공질 실리콘 저온 산화 특성 분석
기타저자  
박정용, 이종현
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제40권 제8호 (2003 8) 2003, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60044494

MARC

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