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다공질 실리콘 산화막 Air-Bridge 기판 위에 제작된 MMIC용 공면 전송선
다공질 실리콘 산화막 Air-Bridge 기판 위에 제작된 MMIC용 공면 전송선
상세정보
MARC
008050718s2003 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a다공질 실리콘 산화막 Air-Bridge 기판 위에 제작된 MMIC용 공면 전송선▼d박정용, 이종현 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2003.
■300 ▼app. 1-5
■653 ▼a다공질▼a실리콘▼a산화▼aAIRBRIDGE▼a기판▼a제작▼aMMIC용▼a전송
■700 ▼a박정용, 이종현
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제40권 제5호 (2003 5)▼d2003, 05
■SIS ▼aS009652▼b60014354▼h8▼s2


