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파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성
파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성 / 김우정, 조용수, 김홍균 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1-7
- 기타저자
- 김우정, 조용수, 김홍균
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60044397
MARC
008050715s2003 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성▼d김우정, 조용수, 김홍균 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2003.
■300 ▼app. 1-7
■653 ▼a막이▼a봉입▼a압력
■700 ▼a김우정, 조용수, 김홍균
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제40권 제2호 (2003 2)▼d2003, 02
■SIS ▼aS009649▼b60014354▼h8▼s2
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