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대기압 저온 플라스마에 의한 ITO(Indium Tin Oxide)박막 식각의 수소(H₂)효과
대기압 저온 플라스마에 의한 ITO(Indium Tin Oxide)박막 식각의 수소(H₂)효과 / 이봉주 공저
대기압 저온 플라스마에 의한 ITO(Indium Tin Oxide)박막 식각의 수소(H₂)효과

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
대기압 저온 플라스마에 의한 ITO(Indium Tin Oxide)박막 식각의 수소(H₂)효과 / 이봉주 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2002.
형태사항  
pp. 12-16
키워드  
대기압 저온 ITOINDIUM OXIDE박막 식각 수소
기타저자  
이봉주
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제39권 제8호 (2002 8) 2002, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60044289

MARC

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