자료유형  

 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

대기압 저온 플라스마에 의한 ITO(Indium Tin Oxide)박막 식각의 수소(H₂)효과 / 이봉주 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2002.

형태사항  

pp. 12-16

키워드  

대기압 저온 ITOINDIUM OXIDE박막 식각 수소

기타저자  

이봉주

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제39권 제8호 (2002 8) 2002, 08

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60044289