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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

RTA 후 FA 공정을 포함한 P+-n 박막 접합 특성 / 한명창, 김재영, 이충근 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2002.

형태사항  

pp. 16-22

키워드  

RTA FA 공정 포함 PN 박막 접합

기타저자  

한명창, 김재영, 이충근

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제39권 제5호 (2002 5) 2002, 05

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Control Number  

kjul:60044223