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복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션
복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션 / 권오섭, 윤석인, 김윤태 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 26-34
- 기타저자
- 권오섭, 윤석인, 김윤태
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60044186
MARC
008050714s2002 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션▼d권오섭, 윤석인, 김윤태 공저
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■653 ▼a복잡▼aULSI▼a배선▼a구조▼a생성▼a위한▼a토포▼a그래피▼a모델▼a시뮬레이션
■700 ▼a권오섭, 윤석인, 김윤태
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제39권 제4호 (2002 4)▼d2002, 04
■SIS ▼aS009639▼b60014354▼h8▼s2
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