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PHEMT Passivation을 위한 Si3N4 적층엘 관한 연구
PHEMT Passivation을 위한 Si3N4 적층엘 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- PHEMT Passivation을 위한 Si3N4 적층엘 관한 연구 / 신재완, 박현창, 박형무 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 25-30
- 키워드
- PHEMT PASSIVATION을 위한 SI3N4
- 기타저자
- 신재완, 박현창, 박형무
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60044102
MARC
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