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고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구
고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구 / 오창석, 김창일 공저
고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구 / 오창석, 김창일 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2001.
형태사항  
pp. 8-13
키워드  
고밀도 CEO₂박막의 식각 메커니즘
기타저자  
오창석, 김창일
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제38권 제12호 (2001 12) 2001, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60044072

MARC

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