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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구 / 오창석, 김창일 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2001.

형태사항  

pp. 8-13

키워드  

고밀도 CEO₂박막의 식각 메커니즘

기타저자  

오창석, 김창일

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제38권 제12호 (2001 12) 2001, 12

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Control Number  

kjul:60044072