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실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화
실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화 / 고종수, Weiguo Liu, Weiguan...
실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화 / 고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2001.
형태사항  
pp. 17-26
키워드  
실리콘 기판 두께 PZT 박막 적외선 감지 성능 변화
기타저자  
고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제38권 제11호 (2001 11) 2001, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60044062

MARC

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