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실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화
실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12296368
- Title/Author
- 실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화 / 고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한전자공학회, 2001.
- Material Info
- pp. 17-26
- Added Entry-Personal Name
- 고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60044062
MARC
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■245 ▼a실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화▼d고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu 공저
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