서브메뉴
검색
실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화
실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화
상세정보
MARC
008050714s2001 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a실리콘 기판 두께에 따른 PZT 박막 적외선 감지소자의 성능 변화▼d고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2001.
■300 ▼app. 17-26
■653 ▼a실리콘▼a기판▼a두께▼aPZT▼a박막▼a적외선▼a감지▼a성능▼a변화
■700 ▼a고종수, Weiguo Liu, Weiguang Zhu
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제38권 제11호 (2001 11)▼d2001, 11
■SIS ▼aS009634▼b60014354▼h8▼s2


