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고유전율 AIN 절연층을 사용한 비휘발성 강유전체 메모리용 MFIS 구조의 제작 및 특성
고유전율 AIN 절연층을 사용한 비휘발성 강유전체 메모리용 MFIS 구조의 제작 및 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 고유전율 AIN 절연층을 사용한 비휘발성 강유전체 메모리용 MFIS 구조의 제작 및 특성 / 정순원, 김광호, 구경완 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 1-6
- 기타저자
- 정순원, 김광호, 구경완
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60044059
MARC
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