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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃박막의 식각 특성 연구 / 김영찬, 김창일 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2001.

형태사항  

pp. 7-11

키워드  

유도 결합 이용 Y₂O₃박막의 식각

기타저자  

김영찬, 김창일

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제38권 제9호 (2001 9) 2001, 09

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Control Number  

kjul:60044025