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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

삼각 팁을 이용한 저전압 구동형 정전방식 마이크로액추에이터 / 김봉환, 성우겨으 김국진 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2001.

형태사항  

pp. 1-6

키워드  

삼각 이용 저전 구동 정전 방식 마이크로

기타저자  

김봉환, 성우겨으 김국진

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제38권 제9호 (2001 9) 2001, 09

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kjul:60044024