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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

실리사이드 공정에 의해 제조된 아날로그용 다결정 실리콘 커패시터의 전기적 특성 변화 / 이재성, 이재곤 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2001.

형태사항  

pp. 23-29

키워드  

실리 사이드 공정 의해 제조 아날로그 다결정 실리콘 전기 변화

기타저자  

이재성, 이재곤

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제38권 제1호 (2001 1) 2001, 01

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Control Number  

kjul:60044000