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SOI를 이용한 핟 디스크 드라이브용 정전형 트랙 추적 마이크로 액추에이터의 제작
SOI를 이용한 핟 디스크 드라이브용 정전형 트랙 추적 마이크로 액추에이터의 제작 / 김봉환, 전...
SOI를 이용한 핟 디스크 드라이브용 정전형 트랙 추적 마이크로 액추에이터의 제작

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
SOI를 이용한 핟 디스크 드라이브용 정전형 트랙 추적 마이크로 액추에이터의 제작 / 김봉환, 전국진, 성우경 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2000.
형태사항  
pp. 1-8
키워드  
SOI를 이용 디스크 드라이브 정전 트랙 추적 마이크로
기타저자  
김봉환, 전국진, 성우경
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제8호 (2000 8) 2000, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60043908

MARC

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