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ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성
ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12296368
- Title/Author
- ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 / 김동진, 정영배, 이명복 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한전자공학회, 2000.
- Material Info
- pp. 43-49
- Added Entry-Personal Name
- 김동진, 정영배, 이명복
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043890
MARC
008050713s2000 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼aALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성▼d김동진, 정영배, 이명복 공저
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■700 ▼a김동진, 정영배, 이명복
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제37권 제6호 (2000 6)▼d2000, 06
■SIS ▼aS009617▼b60014354▼h8▼s2
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