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이온 질량 주입이 금속 유도 측면 결정화에 미치는 영향
이온 질량 주입이 금속 유도 측면 결정화에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 이온 질량 주입이 금속 유도 측면 결정화에 미치는 영향 / 김태경, 김기범, 윤여건 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 25-30
- 기타저자
- 김태경, 김기범, 윤여건
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043827
MARC
008050713s2000 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a이온 질량 주입이 금속 유도 측면 결정화에 미치는 영향▼d김태경, 김기범, 윤여건 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2000.
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■653 ▼a이온▼a질량▼a주입▼a금속▼a유도▼a결정화
■700 ▼a김태경, 김기범, 윤여건
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제37권 제4호 (2000 4)▼d2000, 04
■SIS ▼aS009615▼b60014354▼h8▼s2
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