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MEICP 식각에 의한 SBT 박막의 표면 반응 연구
MEICP 식각에 의한 SBT 박막의 표면 반응 연구
Detailed Information
MARC
008050713s2000 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼aMEICP 식각에 의한 SBT 박막의 표면 반응 연구▼d김동표, 김창일 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2000.
■300 ▼app. 1-6
■653 ▼aMEICP▼a식각▼aSBT▼a박막▼a표면▼a반응
■700 ▼a김동표, 김창일
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제37권 제4호 (2000 4)▼d2000, 04
■SIS ▼aS009615▼b60014354▼h8▼s2
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