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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

furnace 열처리와 질소 플라즈마 처리에 의한 유기화학증착법을 이용한 선택적 구리 증착 / 곽성관, 정관수 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2000.

형태사항  

pp. 27-33

키워드  

FURNACE 열처리 질소 처리 유기 이용 선택 구리

기타저자  

곽성관, 정관수

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제3호 (2000 3) 2000, 03

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Control Number  

kjul:60043812