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 기사

ISSN  

12296368

서명/저자  

고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각 / 이종근, 박세근 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2000.

형태사항  

pp. 1-5

키워드  

고밀도 이용 PZT용 PTRUO₂이중박막의 식각

기타저자  

이종근, 박세근

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제3호 (2000 3) 2000, 03

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Control Number  

kjul:60043805