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고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각
고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각 / 이종근, 박세근 공저
고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt/RuO₂이중박막의 식각 / 이종근, 박세근 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2000.
형태사항  
pp. 1-5
키워드  
고밀도 이용 PZT용 PTRUO₂이중박막의 식각
기타저자  
이종근, 박세근
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제3호 (2000 3) 2000, 03
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60043805

MARC

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■022    ▼a12296368
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