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저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성
저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성 / 김재영, 이충근, 홍신남 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 37-42
- 기타저자
- 김재영, 이충근, 홍신남
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043108
MARC
008050706s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성▼d김재영, 이충근, 홍신남 공저
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■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제5호 (2004 5)▼d2004, 05
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