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저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성
저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n 접합의 열처리 조건에 따른 특성 / 김재영, 이충근, 홍신남 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 37-42
- 기타저자
- 김재영, 이충근, 홍신남
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043108
MARC
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