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밀리미터파용 HEMT 소자 개발 및 제작을 위한 T-게이트 형성 전자빔 리소그래피 공정모의 실험기 개발
밀리미터파용 HEMT 소자 개발 및 제작을 위한 T-게이트 형성 전자빔 리소그래피 공정모의 실험기 개발
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 밀리미터파용 HEMT 소자 개발 및 제작을 위한 T-게이트 형성 전자빔 리소그래피 공정모의 실험기 개발 / 손명식, 김성찬, 신동훈, 이진구 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 23-36
- 기타저자
- 손명식, 김성찬, 신동훈, 이진구
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043107
MARC
008050706s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a밀리미터파용 HEMT 소자 개발 및 제작을 위한 T-게이트 형성 전자빔 리소그래피 공정모의 실험기 개발▼d손명식, 김성찬, 신동훈, 이진구 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2004.
■300 ▼app. 23-36
■653 ▼a밀리미터▼aHEMT▼a소자▼a개발▼a제작▼a위한▼aT게이트▼a형성▼a전자빔▼a리소▼a그래피▼a공정▼a모의▼a실험
■700 ▼a손명식, 김성찬, 신동훈, 이진구
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제5호 (2004 5)▼d2004, 05
■SIS ▼aS010648▼b60014354▼h8▼s2
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