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PMOS에 적합한 Mo 전극의 전기적 화학적 안정성
PMOS에 적합한 Mo 전극의 전기적 화학적 안정성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- PMOS에 적합한 Mo 전극의 전기적 화학적 안정성 / 노영진, 이충근, 홍신남 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 23-28
- 기타저자
- 노영진, 이충근, 홍신남
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043092
MARC
008050706s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
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■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제4호 (2004 4)▼d2004, 04
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