서브메뉴
검색
압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구
압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12296368
- 서명/저자
- 압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구 / 윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 9-14
- 기타저자
- 윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60043051
MARC
008050706s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구▼d윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태 공저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2004.
■300 ▼app. 9-14
■653 ▼a압저항▼a압력▼a센서▼a응용▼a위한▼aTMAHAPIPA▼a용액▼a실리콘▼a이방성▼a식각▼a대한
■700 ▼a윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제3호 (2004 3)▼d2004, 03
■SIS ▼aS010646▼b60014354▼h8▼s2
