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마이크로 인장시험법을 이용한 단결정 실리콘의 파괴강도에 미치는 공정 및 크기효과 평가
마이크로 인장시험법을 이용한 단결정 실리콘의 파괴강도에 미치는 공정 및 크기효과 평가
상세정보
MARC
008030828s2003 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼a마이크로 인장시험법을 이용한 단결정 실리콘의 파괴강도에 미치는 공정 및 크기효과 평가▼d이성훈,김종진,정증현,김동원 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 439-444
■653 ▼a마이크로▼a인장▼a이용▼a단결정▼a실리콘▼a파괴▼a공정▼a크기▼a효과▼a평가
■700 ▼a이성훈,김종진,정증현,김동원
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.41 No.7 2003▼d2003, 07
■SIS ▼aS010366▼b60013425▼h8▼s2


