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 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 연구 / 임재원 저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 525

키워드  

이온빔 ULSI 금속 배선용 구리

기타저자  

임재원

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.41 No.8 2003 2003, 08

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모체정보확인

Control Number  

kjul:60023293