본문

서브메뉴

검색

  1. Home
비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 연구
비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 연구 / 임재원 저
비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
02533847
서명/저자  
비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 연구 / 임재원 저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2003.
형태사항  
pp. 525
키워드  
이온빔 ULSI 금속 배선용 구리
기타저자  
임재원
기본자료저록  
대한금속.재료학회지 : Vol.41 No.8 2003 2003, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60023293

MARC

 008000201s2003        ULKa    a                          KOR
■022    ▼a02533847
■245    ▼a비질량분리형  이온빔증착법에  의한  ULSI  금속배선용  구리박막에  관한  연구▼d임재원  저
■260    ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2003.
■300    ▼app.  525
■653    ▼a이온빔▼aULSI▼a금속▼a배선용▼a구리
■700    ▼a임재원
■773    ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.41  No.8  2003▼d2003,  08
■SIS    ▼aS010367▼b60013425▼h8▼s2

미리보기

내보내기

chatGPT토론

Ai 추천 관련 도서


    신착도서 더보기
    관련도서 더보기
    최근 3년간 통계입니다.
    추천하기

    소장정보

    • 예약
    • 서가에 없는 책 신고
    • 나의폴더
    • 논문작성 참고자료
    • 연구윤리 참고자료
    • 취업관련도서
    소장자료
    등록번호 청구기호 소장처 대출가능여부 대출정보
    AR09911 P   참고자료실(관광학관2층) 대출불가 대출불가
    마이폴더 부재도서신고

    * 대출중인 자료에 한하여 예약이 가능합니다. 예약을 원하시면 예약버튼을 클릭하십시오.

    해당 도서를 다른 이용자가 함께 대출한 도서

    관련도서

    관련 인기도서

    도서위치