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MEMS 기술 개발 현황 및 산업화 계획
MEMS 기술 개발 현황 및 산업화 계획
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MARC
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■245 ▼aMEMS 기술 개발 현황 및 산업화 계획▼d조영호 저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2001.
■300 ▼app. 32-37
■653 ▼aMEMS▼a기술▼a개발▼a현황▼a산업화
■700 ▼a조영호
■773 ▼t기계저널▼g2001 12 (Vol.2001 No.12)▼d2001, 12
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