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진공기술과 반도체
진공기술과 반도체
상세정보
MARC
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■245 ▼a진공기술과 반도체▼d임재영,위영호 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2000.
■300 ▼app. 32-37
■653 ▼a진공▼a기술과▼a반도체
■700 ▼a임재영,위영호
■773 ▼t기계저널▼g2000 10 (Vol.2000 No.10)▼d2000, 10
■SIS ▼aS009258▼b60013822▼h8▼s2


