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반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비
반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비 / 박화영 저
반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12267287
서명/저자  
반도체 장비 핵심부품의 신뢰성 평가 장비 / 박화영 저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2000.
형태사항  
pp. 39-43
키워드  
반도체 장비 핵심 신뢰성 평가
기타저자  
박화영
기본자료저록  
기계저널 : 2000 9 (Vol.2000 No.9) 2000, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60020917

MARC

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