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유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12264873
- Title/Author
- 유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구 / 조성환 김형제 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한기계학회, 2002.
- Material Info
- pp. 969-975
- Added Entry-Personal Name
- 조성환 김형제
- Host Item Entry
- 대한기계학회논문집A : 제26권 제5호 (통권 제200호)(2002년 5월) 2002, 05
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60019314
MARC
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