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 기사

ISSN  

12264873

서명/저자  

가공면미세결함의 나노 인프로세스 측정을 위한 AFM시스템의 개발 / 권현규 최성태 공저

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2002.

형태사항  

pp. 537-543

키워드  

가공면 나노 측정 위한 AFM시스템의 개발

기타저자  

권현규 최성태

기본자료저록  

대한기계학회논문집A : 제26권 제3호 (통권 제198호)(2002년 3월) 2002, 03

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Control Number  

kjul:60019262