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차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석
차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12264873
- Title/Author
- 차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석 / 박재학 전종철 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한기계학회, 2003.
- Material Info
- pp. 472
- Added Entry-Personal Name
- 박재학 전종철
- Host Item Entry
- 대한기계학회논문집A : 제27권 제3호 (통권 제210호)(2003년 3월) 2003, 03
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60018927
MARC
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