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차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석
차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석
상세정보
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■245 ▼a차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석▼d박재학 전종철 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2003.
■300 ▼app. 472
■653 ▼a리소▼a그라피▼a시스템▼a위한▼a압전▼a동적
■700 ▼a박재학 전종철
■773 ▼t대한기계학회논문집A▼g제27권 제3호 (통권 제210호)(2003년 3월)▼d2003, 03
■SIS ▼aS009371▼b60013871▼h8▼s2


