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플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구
플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구
상세정보
MARC
008030729s2002 ULKa a KOR■022 ▼a12264881
■245 ▼a플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구 ▼d황영규 허중식 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2002.
■300 ▼app. 1406-1418
■653 ▼a식각▼a노즐▼a위치▼a희박▼a기체▼a유동▼a알루미늄▼a변화
■700 ▼a황영규 허중식
■773 ▼t대한기계학회논문집B▼g제26권 제10호 (통권 제205호)(2002년 10월)▼d2002, 10
■SIS ▼aS009499▼b60013887▼h8▼s2


