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플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구
플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구...
플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12264881
서명/저자  
플라즈마 식각장티내 노즐의 위치에 따른 희박기체 유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구 / 황영규 허중식 공저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2002.
형태사항  
pp. 1406-1418
키워드  
식각 노즐 위치 희박 기체 유동 알루미늄 변화
기타저자  
황영규 허중식
기본자료저록  
대한기계학회논문집B : 제26권 제10호 (통권 제205호)(2002년 10월) 2002, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60018018

MARC

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