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 기사

ISSN  

12264881

서명/저자  

Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구 / 이영림 저

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2002.

형태사항  

pp. 1226-1233

키워드  

SI로부터 SIC의 레이저 화학

기타저자  

이영림

기본자료저록  

대한기계학회논문집B : 제26권 제9호 (통권 제204호)(2002년 9월) 2002, 09

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Control Number  

kjul:60017946